MPCVD掺硼金刚石薄膜的制备及Ti/BDD电极上对硝基酚的阳极氧化测试

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采用微波等离子体技术在CH4-H2-C2H6气体条件下制备了钛基掺硼金刚石薄膜。四点探针法测得薄膜电阻率在零掺杂时为1×10^12Ω·cm,当反应气源中B/C上升为5×10^-3时电阻率降至5×10^-3Ω·cm。扫描电镜显示掺硼金刚石具有完整晶型和致密结构。拉曼光谱观察到金刚石结构在掺杂前后发生明显改变。采用循环伏安测试了Ti/BDD电极的电化学参量,并与PbO2,Sn-Sb and PbO2-Er三种电极进行阳极氧化对-硝基酚的对比实验。结果表明,在T
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