【摘 要】
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为了找到污渍来源(他也是闲来无事),彼得森走进了最近的实验室.最后他发现,这块污渍是由溢出的墨水形成的.这是一家研发喷墨打印机喷嘴的实验室,研发过程中需要在硅材料上打
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为了找到污渍来源(他也是闲来无事),彼得森走进了最近的实验室.最后他发现,这块污渍是由溢出的墨水形成的.这是一家研发喷墨打印机喷嘴的实验室,研发过程中需要在硅材料上打孔.rn在硅材料上打孔?彼得森从未听说过,但他想起了之前看过的一则有关硅基微型加速器的广告.突然间,一个更大的场景浮现在他的脑海中:人们实际上正在制造微型机械配件,各种部件只有几微米,都是用硅材料制成的.今天,我们将这类装置称为微机电系统(MEMS).彼得森也想制造MEMS.
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