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针对RF-500型CVD镀膜机传统的电气控制缺点，开发了基于PC-PLC的RF-500型CVD镀膜机计算机控制系统。介绍了RF-500型CVD镀膜机的结构以及工作原理；并对该控制系统的硬件结构和软件功能进行了描述。对该控制系统的控制效果进行了大量的实验研究，研究结果表明：基片温度控制精度达到±1℃、工作（反应）气体的流量控制精度达到10mL、可以进行精确的开关量控制。