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场发射阴极金刚石薄膜的制备方法有很多,利用微波等离子化学气相沉积的方法制备薄膜,文中详细介绍了正交分解法实验制备金刚石薄膜的过程。并对薄膜进行扫描电镜、拉曼光谱、X射线实验,分析了其形貌与结构;用场发射二级结构研究薄膜的场发射性能,简单分析了金刚石薄膜的成因和场发射性能。
利用正交实验制备金刚石薄膜及其场发射的研究
【摘 要】
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场发射阴极金刚石薄膜的制备方法有很多,利用微波等离子化学气相沉积的方法制备薄膜,文中详细介绍了正交分解法实验制备金刚石薄膜的过程。并对薄膜进行扫描电镜、拉曼光谱、
【机 构】
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郑州师范学院物理与电子工程学院,郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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2021年2期
【基金项目】
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教育部科学技术重点项目(205091),河南省高等学校重点科研项目(16A140039),河南省科技厅科技攻关项目(182102210140)。
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