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定容法标准漏孔校准中器壁吸气及规管抽气会产生-(30%～40%)误差.本文提出用氮气清洗器壁以减少其吸放气速率,并以氮气代替空气校准;不扣除本底压强上升速率;规管与校准容器间加装一只阀门以减少规管抽气对校准的影响等办法来减少误差.
标准漏孔校准中若干问题及其解决办法
【摘 要】
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定容法标准漏孔校准中器壁吸气及规管抽气会产生-(30%～40%)误差.本文提出用氮气清洗器壁以减少其吸放气速率,并以氮气代替空气校准;不扣除本底压强上升速率;规管与校准容器间
【机 构】
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北京真空电子技术研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2002年2期
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