【摘 要】
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一、概述 电离升华泵由于结构简单、价格低兼以及启动压强较高,目前在各种需要清洁高真空或超高真空的场合已获得广泛的应用。电离升华泵中,惰性气体主要依靠电离器离解成离
【机 构】
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复旦大学 ,南京电子管厂 ,南京电子管厂 ,南京电子管厂
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一、概述 电离升华泵由于结构简单、价格低兼以及启动压强较高,目前在各种需要清洁高真空或超高真空的场合已获得广泛的应用。电离升华泵中,惰性气体主要依靠电离器离解成离子后抽除的,因此提高电离器的效率是提高这种泵对惰性气体抽速的重要措施。 电离器的抽速由下式(1)决定
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