【摘 要】
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采用Sol-Gel法在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备出未掺杂和掺杂Mg的（Ba0.5Sr0.5）0.85Pb0.15-TiO3薄膜．采用XRD、SEM和Agilent 4294A精密阻抗分析仪研究了Mg掺杂量对薄膜的结晶性，表面形貌
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(50902085);湖北省教育厅项目(Q20081304)
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采用Sol-Gel法在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备出未掺杂和掺杂Mg的（Ba0.5Sr0.5）0.85Pb0.15-TiO3薄膜．采用XRD、SEM和Agilent 4294A精密阻抗分析仪研究了Mg掺杂量对薄膜的结晶性，表面形貌和介电性能的影响．结果表明：随着Mg掺杂量的增加，PBST薄膜的介电常数减小，介电损耗降低，介电调谐量先减少后增加．当Mg掺杂量为0．8mol％时，PBST薄膜具有最大的优值因子．
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