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为了实现对纳米级薄膜的快速测量，运用了基于分振幅斯托克斯参量测量的椭偏测厚的方法，对该方法中的原理、计算和参量测量方法进行研究，并构建了实验系统。首先，设计了一个光路在同一平面上的分振幅斯托克斯参量测量装置，用偏振片和1/4波片组合产生已知的偏振态来定标该装置，用4个性能一致的光电探测器实现快速测量光束的斯托克斯参量。然后用实验系统测量纳米级薄膜样品的入射和反射偏振光的斯托克斯参量，求得椭偏参量ψ和△，再求得薄膜样品的厚度d和折射率n。讨论了斯托克斯参量测量的误差问题，最后与常用的消光法椭偏仪作了对比测量