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用磁控溅射技术成功的制备了Fe-N/Ti-N纳米多层膜.Fe-N层厚度固定为2.2nm,Ti-N层厚度在0.5nm和4.6nm之间依次变化.由X射线衍射结果发现样品中有Fe16N2相存在,发现Ti-N层厚度的变化,对剩磁比、饱和外场、矫顽力、饱和磁化强度(MS)有很大影响,Fe-N层之间有铁磁耦合和反铁磁耦合变化.