SiOx/PET复合薄膜的力学性能及阻隔性能

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目的基于氧化硅(SiOx)镀层优异的性能,研究不同厚度的SiOx层对SiOx/PET复合薄膜力学性能和阻隔性能的影响,以期得到性能较优的SiOx/PET复合薄膜。方法以自制的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜为基材,采用等离子体增强化学气相沉积法沉积得到SiOx层厚度分别为40,150,230,320 nm的SiOx/PET复合薄膜,并进行傅里叶变换红外线光谱分析、力学性能和阻隔性能测试,以及薄膜表观形貌分析。结果沉积SiOx层后,SiOx/PET复合薄膜拉伸强度和断裂伸长率随SiOx层厚度的增大先增大后
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