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近年来，残留气体质谱分析权（RGA）因其在残留气体和反应腔真空条件检测方面的卓越表现而被广泛应用于物理气相沉积（PVD）工艺中。本文提出了一种先进的实时监控系统，它整合RGA和PVD生产设备来实现完全的自动反馈控制和偏移预防功能。此外，本文还总结了优化的热铝工艺在良率和产能上的改进。
创新的PVD实时在线工艺检测系统RGA在IC制造品质改进上的应用
【摘 要】
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近年来，残留气体质谱分析权（RGA）因其在残留气体和反应腔真空条件检测方面的卓越表现而被广泛应用于物理气相沉积（PVD）工艺中。本文提出了一种先进的实时监控系统，它整合RGA和PVD生
【机 构】
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安徽省计算中心
【出 处】
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安徽科技
【发表日期】
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2010年9期
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