【摘 要】
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本文对比分析了几种光纤用高纯SiCl4的制备方法,包括精馏法、吸附-精馏法、部分水解法和光氯化法,得出光氯化法为目前为止最合适的制备光纤用高纯SiCl4的方法。
【机 构】
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中国恩菲工程技术有限公司,洛阳中硅高科技有限公司
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本文对比分析了几种光纤用高纯SiCl4的制备方法,包括精馏法、吸附-精馏法、部分水解法和光氯化法,得出光氯化法为目前为止最合适的制备光纤用高纯SiCl4的方法。
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