【摘 要】
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激光直写是一种高效、可规模化制备柔性电子器件的技术.本文采用激光直写技术在具有良好介电性能的聚酰亚胺薄膜上制备了一种可用于应变传感和湿度传感的柔性环形天线传感器.利用激光碳化聚酰亚胺获得的材料表面呈现多孔及堆叠片层碳结构,当施加于天线上的应变和环境湿度改变时,天线的谐振频率会发生规律变化,进而实现应变和湿度感知.制备的环形天线传感器的应变响应灵敏度为?8.943 kHz/με,湿度响应灵敏度为?6.45 MHz/RH％.采用激光直写技术制备的天线传感器可以广泛应用于结构健康监测等领域.
【机 构】
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华东理工大学机械与动力工程学院,上海 200237;华东理工大学机械与动力工程学院,上海 200237;武汉光电国家研究中心,湖北 武汉 430074;香港科技大学土木与环境工程系,中国 香港 999
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激光直写是一种高效、可规模化制备柔性电子器件的技术.本文采用激光直写技术在具有良好介电性能的聚酰亚胺薄膜上制备了一种可用于应变传感和湿度传感的柔性环形天线传感器.利用激光碳化聚酰亚胺获得的材料表面呈现多孔及堆叠片层碳结构,当施加于天线上的应变和环境湿度改变时,天线的谐振频率会发生规律变化,进而实现应变和湿度感知.制备的环形天线传感器的应变响应灵敏度为?8.943 kHz/με,湿度响应灵敏度为?6.45 MHz/RH％.采用激光直写技术制备的天线传感器可以广泛应用于结构健康监测等领域.
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