【摘 要】
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本文报导了用不同能量与剂量的Ar~+与~(28)N_2~+对GCr15钢镀Cr的轰击扩散镀层(BDC)的作用。实验表明:(1)Ar~+的混合效果较好,但~(14)N~+的改性作用要强得多;(2)AES—PRO分析
【机 构】
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长沙半导体工艺设备研究所,天津师大,华北三院
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本文报导了用不同能量与剂量的Ar~+与~(28)N_2~+对GCr15钢镀Cr的轰击扩散镀层(BDC)的作用。实验表明:(1)Ar~+的混合效果较好,但~(14)N~+的改性作用要强得多;(2)AES—PRO分析表明,注入轰击中,夹层氧有明显的外迁移现象。最后从摩擦学的观点对注入混合的改性作用进行了分析探讨。
In this paper, the effects of Cr (superscript +) bombardment diffusion coating (BDC) on GCr15 steel with Ar ~ + and ~ (28) N_2 ~ + with different energy and dose were reported. The experimental results show that: (1) the mixing effect of Ar ~ + is better, but the modification effect of ~ (14) N ~ + is much stronger; (2) AES- Migration phenomenon. Finally, from the tribological point of view of the role of injection mixing modified discussed.
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