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利用红外光谱测量氮化镓薄膜的载流子浓度和迁移率
利用红外光谱测量氮化镓薄膜的载流子浓度和迁移率
来源 :物理实验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sbisk
【摘 要】
:
利用红外光谱仪无损测量氮化镓薄膜的反射红外光谱,通过拟合计算获得薄膜的载流子浓度以及迁移率.实验测得氮化镓薄膜的载流子浓度为3.204×1018 cm-3,迁移率为2.149
【作 者】
:
张师平
陈森
朱少奇
闫丹
张炎
吴平
【机 构】
:
北京科技大学数理学院物理系
【出 处】
:
物理实验
【发表日期】
:
2013年3期
【关键词】
:
氮化镓薄膜
载流子浓度
迁移率
红外光谱
【基金项目】
:
北京科技大学研究型教学示范课建设项目(No.JY2011SFK18);北京科技大学教育教学改革研究项目(重点)(No.JG2011Z14)
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利用红外光谱仪无损测量氮化镓薄膜的反射红外光谱,通过拟合计算获得薄膜的载流子浓度以及迁移率.实验测得氮化镓薄膜的载流子浓度为3.204×1018 cm-3,迁移率为2.149×102 cm2/(V.s),该结果与霍尔效应方法测量结果一致.
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