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介绍了光刻机底面对准系统的基本原理，并分析了传统底面对准系统存在的缺点，给出了基于USB2．0与CPLD的光刻机底面对准新系统的设计方案。论述了系统硬件和软件的实现，并对其中的关键模块进行了深入分析。与传统底面对准系统相比，该对准系统成本降低约70％，同时，系统的可靠性大幅提高。实验表明，该系统的底面对准精度达到0．25μm，满足系统设计要求。