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为了提高拉曼光谱仪的探测灵敏度，设计了铜基表面增强拉曼散射（surface enhanced Raman scattering, SERS）薄膜基底。以Cu40Ti60合金为靶材，通过控制磁控溅射参数获得了一系列铜钛合金薄膜，采用脱合金法进一步获得了不同结构的铜基薄膜，系统地研究了不同溅射参数对铜基薄膜的SERS特性的影响，确定了制备SERS基底的最佳溅射参数。脱合金后所得铜膜具有多孔结构，能形成高强度局域电磁场，即SERS“热点”（hotspots），从而表现出优异的SERS增强性能。该基底制备成本低，重复性好，能用于灵敏检测且SERS增强因子可达1.8×107，具有较好的应用前景。