LCD玻璃研磨机的工艺探讨

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【摘要】

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在介绍LCD玻璃基板研磨工艺流程及关键工艺技术要求的基础上，以自行研制的YM-950玻璃研磨机为例，探讨了获得研磨后最优玻璃表面平整度与粗糙度的研磨垫粗糙度、转盘旋转速度和

【作者】

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冯振华白变香

【机构】

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中国电子科技集团公司第二研究所

【出处】

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电子工艺技术

【发表日期】

：

2010年2期

【关键词】

：

研磨平整度粗糙度 LCD Lapping Flatness Roughness LCD

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在介绍LCD玻璃基板研磨工艺流程及关键工艺技术要求的基础上，以自行研制的YM-950玻璃研磨机为例，探讨了获得研磨后最优玻璃表面平整度与粗糙度的研磨垫粗糙度、转盘旋转速度和上下研磨盘匹配的工艺参数。在YM-950玻璃研磨机上应用这些参数试制，可高速地获得优良的表面粗糙度。

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