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本文详细地研究了氧等高离子体造成辐照损伤的Si/SiO_2系统在氢、氧等离子体退火中随压强、温度及退火时间的变化关系。结果表明射频退火对消除辐照损伤是极为有效的,并发现固定电荷密度N和界面态密度N_(?)分别与样品放置方式和气氛密切相关。
Si／SiO2系统辐照损伤的氢,氧等离子体低温退火研究
【摘 要】
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本文详细地研究了氧等高离子体造成辐照损伤的Si/SiO_2系统在氢、氧等离子体退火中随压强、温度及退火时间的变化关系。结果表明射频退火对消除辐照损伤是极为有效的,并发现
【机 构】
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兰州大学物理学系,张掖师专物理学系
【出 处】
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兰州大学学报
【发表日期】
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1993年3期
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