【摘 要】
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在分析片上螺旋电感的磁场分布及射频损耗机制的基础上，研究了电感的金属线宽及线圈间距的变化对电感性能的影响，在大量数值分析基础上提出了金属线宽与间距之和不变，而金属线宽
【机 构】
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华东师范大学信息学院电子系,中国科学院传感技术联合国家重点实验室,上海集成电路研发中心
【基金项目】
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国家自然科学基金资助（60676047,60606010）,上海市科委项目资助（075007033、04QMX1419）,上海-应用材料研究与发展基金等项目资助（0522）
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在分析片上螺旋电感的磁场分布及射频损耗机制的基础上，研究了电感的金属线宽及线圈间距的变化对电感性能的影响，在大量数值分析基础上提出了金属线宽与间距之和不变，而金属线宽与间距之比从外圈到内圈逐渐减小的渐变型片上螺旋电感，并得到了实验验证，多组样品的测试结果与数值分析结果相吻合，以2．4GHz频段处为例，在高阻硅衬底上制备的5nH渐变结构电感的品质因子Q为11，比具有相同外径和电感值的固定金属线宽及间距的传统电感高19．6％。
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