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本工作研制了用于惯性约束聚变ICF分解实验模拟聚变靶丸表面粗糙度和驱动激光空间不均匀性对R-T不稳定性作用的平面调制靶和平面薄膜靶.以激光干涉法结合图形转移工艺获得波长20～100 μm、振幅0.0～4.0 μm的正弦调制图形的模板,再将调制图形转移至溴代聚苯乙烯薄膜表面,制备出ICF实验用溴代聚苯乙烯平面调制箔靶;以半导体工艺结合自截止腐蚀工艺制得厚度4 μm左右的自支撑Si平面薄膜靶.Si膜的表面粗糙度为几十纳米.对所研制的两种靶型的参数进行了测量.