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采用电子辅助热灯丝化学气相沉积(EA.CVD)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,碳源浓度的变化会直接影响着金刚石膜的生长和质量。使用Raman,SEM等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征。
甲烷浓度对大面积金刚石膜生长的影响
【摘 要】
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采用电子辅助热灯丝化学气相沉积(EA.CVD)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,碳源浓度的变化会直接影响着金刚石膜的生长和质量。使用Raman,SEM等手段对金刚石
【机 构】
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长春大学理学院,长春大学特殊教育学院,长春大学理学院吉林长春130022,吉林长春130022
【出 处】
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长春大学学报
【发表日期】
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2006年12期
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