【摘 要】
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随着激光外差干涉测量速度的提高,其存在的原理性误差严重影响测量精度.通过对激光外差干涉原理上产生残余累计误差的机理进行理论分析,给出影响误差大小的因素,并进行相应的
【机 构】
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哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
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随着激光外差干涉测量速度的提高,其存在的原理性误差严重影响测量精度.通过对激光外差干涉原理上产生残余累计误差的机理进行理论分析,给出影响误差大小的因素,并进行相应的仿真验证,提出误差修正方案,应用数值分析的方法,通过获取激光外差干涉的实时速度,实现误差补偿.仿真结果表明,此方法能够有效地减小残余累计误差,当最大测量速度为1 m/s、最大位移为3 m时,能够消除17.7 nm的残余累计误差,而且能消除其累计现象.
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