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以氮化钛为代表的过渡族金属氮化物具有优良性能,应用前景广阔。对薄膜的制备技术进行了论述,对薄膜的表征问题进行了分析,并从显微硬度、磨损性能、耐腐蚀性能等方面介绍了氮化钛薄膜的研究进展。对纳米多层薄膜的调制结构和界面结构进行了论述,并从耐磨性和抗氧化性两方面介绍了氮化钛基纳米多层薄膜的研究进展。与此同时,对氮化钛基纳米复合薄膜的磨损性能进行了介绍,并分析了银含量对氮化钛银薄膜力学性能与磨损性能的影响。