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本文报告了一种 VMOS 管(VMOST)及其制造方法。并从理论上分析了该种短沟 VMOST 阈电压,指出了工艺上的控制方法。介绍了 VMOS 短沟道器件具有高击穿电压,高截止频率的优点。并可以用作功率器件。
一种很有前途的MOS器件——VMOS管
【摘 要】
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本文报告了一种 VMOS 管(VMOST)及其制造方法。并从理论上分析了该种短沟 VMOST 阈电压,指出了工艺上的控制方法。介绍了 VMOS 短沟道器件具有高击穿电压,高截止频率的优点。
【机 构】
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辽宁大学物理系,辽宁大学物理系,
【出 处】
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辽宁大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1981年01期
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