【摘 要】产品的可依赖性研究就是对产品使用期限的研究，可依赖性同时也是产品质量的关键性属性，人们越来越关注产品的可依赖性。伴随着社会经济的快速发展，科学技术的不断进步，新工艺与新材料得到广泛的运用，半导体集成电路的集成度不断提升，线宽不断变小，对集成电路的可依赖性的需求也随之提升。近些年来，我国的集成电路制造业发展迅猛，这为集成电路的可依赖性研究创造了较好的环境。本文将对半导体集成电路的晶圆级可依赖性检查和进行分析，并对数据处理方式进行研究。
　　【关键词】集成电路 可依赖性检测 数据处理方式
　　伴随着半导体集成电路制造技术的不断发展，各种大规模的集成电路的集成度不断提升，器件的尺寸不断减小，集成电路的制造技术和电路结构也开始朝复杂化发展。此外，人们对集成电路的可依赖性需求也逐渐提升。而在产品制作工艺与设计复杂程度的不断加大，随机缺陷中的敏感性对集成电路可依赖性的影响作用越来越大，并且，集成电路产品可依赖性评价的成本逐渐提升，评价的时间周期也随之拉长。而在评价方式中，晶圆级可依赖性检测方式是一种先进的检测方式，以下笔者将对集成电路可依赖性检测进行分析。
　　一、可依赖性概念以及数学描写
　　（一）可依赖性概念
　　依据国家相关标准给出的定义，可依赖性指的就是产品在一定的时间与条件下，实现一定功能的能力[1]。从该定义中可以了解到可依赖性和时间有一定的关联，其为产品质量中有关时间方面的特点。
　　（二）可依赖性的数学描写
　　二、加速寿命实验和可依赖性数据处理
　　加速寿命实验的类型具体有三种，分别是序加实验、恒加实验以及步加实验。以下将对三种类型进行说明。
　　（一）恒加实验，在该实验中实验样品被划分成若干个部分，并且在应力不一样的环境下展开实验。恒加实验因为实验手法简单、方便，在集成电路的可依赖性实验中得到普遍运用。但是恒加实验有一个缺陷，即在应力水平比较低的情况下，为了使其失效样品的数量达到一定值，必须花费很长的时间。
　　在恒加实验当中，各个应力条件的明确S1　　恒加实验内，加速应力条件下样本数能够进行均衡分配，或者是实行非均衡分配，因为应力高的条件下，样品失效相较而言速度较为迅速，但是在应力低的条件下，样品失效的速度比较缓慢，所以，在应力水平较低的情况下，多添加一点样品数，而在应力水平较低的情况下少添加一些样品数。
　　（二）步加实验，把全部的样品放在应力一致的条件下展开实验，实验实行一段时间之后，加强应力大小，把没有失效的样品放在应力水平较高的情况下，继续进行实验，依此反复实验，直至实验条件到达全部样品或者是应力水平都失效为止。步加实验能够有效处理好恒加实验中无法克服的问题，即在应力水平比较低的情况下，很难获得充足的失效样品。针对应力水平较低情况下没有失效样品，在这种基础上实验的时间能够依据公式进行转变且积累到应力水平较高的状态下的实验时间，与恒加实验相对比，步加实验更为复杂，数据的处理过程也不相同，在集成电路可依赖性实验中不是经常运用。
　　各个应力条件的选取，步加实验和恒加实验是比较相似，不一样的主要体现在样品数量上，步加实验仅仅有一组样品，因此其样品总数会变少。然而在恒加实验中，通常情况下需要有产品失效的应力水平不要过少，并且一个产品失效的应力水平中失效样品数量最好不要太少，所以，其样品总数必须具有一定的量。
　　（三）序加实验，该实验和步加实验基本上相似，异同点体现在：序加实验的应力与时间成正比关系，时间变长，应力加大。序加实验在数据处理方面较为繁杂，在集成电路的可依赖性实验中并不是经常运用。序加实验就好比是集成电路栅氧化层中的斜坡电流或者是斜坡电压检测，但是栅氧化层中的斜坡电流或者是斜坡电压通常情况下是用在计算缺陷密度上，而不是运用在寿命估算上。
　　三、结束语
　　当前，我国集成电路制造公司还没有形成完善的集成电路可依赖性检测保障体系，只有很少的公司已经开始该方面的工作。在各大高校以及研究院中，对于半导体集成电路的晶圆级可依赖性技术研究也只是处在初步发展时期，并且制定有关的技术标准以及规范还处在探索时期。本文介绍了半导体集成电路的可依赖性，并说明了加速寿命实验和可依赖性数据处理，以便为将来集成电路的战略性发展提供理论基础，从而促进我国集成电路的发展。
　　参考文献：
　　[1]刘富财，蔡翔，罗俊，等.深亚微米CMOS器件可靠性机理及模型[J].微电子学，2012，42（2）：250-254
　　[2]罗俊，秦国林，邢宗锋，等.双极型集成电路可靠性技术[J].微电子学，2010，40（05）：746-753
　　[3]陈循，张春华.加速试验技术的研究、应用与发展[J].机械工程学报，2009，12（09）：123-124