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用直流磁控溅射法成功制备了Fe-Zr-B非晶薄膜.用X-射线衍射、透射电镜研究了薄膜不同退火温度后的组织与性能.研究结果表明,薄膜在550℃退火时,其磁感应强度最高,主要原因是因为其结构发生了有利于磁化的bcc相的转变.
Fe—Zr—B非晶薄膜退火后的组织与性能
【摘 要】
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用直流磁控溅射法成功制备了Fe-Zr-B非晶薄膜.用X-射线衍射、透射电镜研究了薄膜不同退火温度后的组织与性能.研究结果表明,薄膜在550℃退火时,其磁感应强度最高,主要原因是
【机 构】
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上海钢铁研究所,中科院上海微系统与信息技术研究所,江苏省苏州大学
【出 处】
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热处理
【发表日期】
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2003年4期
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