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介绍了溅射、分子束外延、脉冲激光沉积和激光分子束外延等ＰｔＳｉ薄膜的制备方法以及应用进展。着重介绍了脉冲激光沉积和激光分子束外延技术的原理及特点。
PtSi红外探测器材料制备技术
【摘 要】
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介绍了溅射、分子束外延、脉冲激光沉积和激光分子束外延等ＰｔＳｉ薄膜的制备方法以及应用进展。着重介绍了脉冲激光沉积和激光分子束外延技术的原理及特点。
【机 构】
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哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,兰州物理研究所激光分子束外延技术实验室
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2000年4期
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