叠层型压电驱动器技术及实验研究

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叠层型压电陶瓷利用逆压电效应可以得到精确的微位移量。介绍了叠层型压电驱动器的性能特性。并基于正交三角放大原理设计了一种微位移放大机构,使其将叠层型压电微位移器的位移量放大。实验结果表明,驱动器各项指标均达到设计要求,证明了设计理论的正确性。
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