【摘 要】
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用微区光致发光和拉曼散射光谱比较了国内外GaP:ZnO红光二极管产品的结构,在国内首先实现了用微区光学方法检测LED外延片并进行生产工艺的改进。对典型样品进行了微区光致发
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,南昌746厂
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划);
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用微区光致发光和拉曼散射光谱比较了国内外GaP:ZnO红光二极管产品的结构,在国内首先实现了用微区光学方法检测LED外延片并进行生产工艺的改进。对典型样品进行了微区光致发光的测试，比较外延片横截面上不同厚度层的光致发光，非常明显地看出主要发光区是在P区。通过合理扩展P层发光区的厚度相应地增加了光致发光的总光强，提高了产品的生产成品率。
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