磷掺杂类金刚石薄膜的制备与性能研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:skynet0079
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应用等离子体浸没离子注入与沉积方法合成了磷掺杂的类金刚石(P doped diamond like carbon,P-aopea DLC)薄膜。结构分析表明磷以微米级岛状结构分散于DLC薄膜表层,P的掺杂增加了DLC薄膜的无序性,俄歇能谱证明岛型区域是由P、C、O三种元素形成的化合物,衰减全反射傅里叶红外光谱(ATR-FTIR)的分析结果显示存在P-O-P和P-P-C的非对称伸缩振动。掺杂表面表现出强烈的亲水性(水接触角为16.9°),体外血小板粘附实验结果显示,P掺杂DLC薄膜表面粘附的血小板少且变形小,表现出的血液相容性优于热解碳和未改性DLCo。P-doped DLC薄膜与水的界面张力为2.7 nJ/cm2,具有较理想的接近于血细胞的界面张力,因此与血液保持了较高的相容性。 P-doped diamond-like carbon (P-aopea DLC) thin films were synthesized by plasma immersion ion implantation and deposition. Structural analysis shows that phosphorus is dispersed in the surface layer of DLC thin film with micron-scale island structure. The doping of P increases the disorderedness of DLC film. The Auger energy spectrum proves that the island-shaped region is composed of three elements P, C and O , ATR-FTIR analysis showed that there were asymmetric stretching vibration of POP and PPC. The doped surface shows strong hydrophilicity (water contact angle is 16.9 °). The in vitro platelet adhesion test results show that the adhesion of platelets on the surface of P-doped DLC film is small and its deformation is small, showing good blood compatibility Pyrolytic carbon and unmodified DLCo. The interfacial tension of P-doped DLC film with water is 2.7 nJ / cm2, which has an ideal interfacial tension close to that of blood cells and therefore maintains a high compatibility with blood.
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