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螺旋通道过渡流和滑流状态下抽气特性的理论是分子泵研究的最重要的课题之一。在这篇文章中，介绍了一种螺旋槽移动的计算抽气特性的理论模型。根据这一模型，可以模拟分子泵在过渡流和滑流工作条件下的抽气性能。这一理论模型是ＭＤＰ设计的基础和抽气特性优化的必要条件。
分子泵中螺旋通道在过渡流和滑流态抽气特性的研究
【摘 要】
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螺旋通道过渡流和滑流状态下抽气特性的理论是分子泵研究的最重要的课题之一。在这篇文章中，介绍了一种螺旋槽移动的计算抽气特性的理论模型。根据这一模型，可以模拟分子泵在过
【机 构】
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东北大学真空工程系，中国科学院北京真空物理实验室，北京华特应用技术研制所
【出 处】
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真空
【发表日期】
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1995年01期
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