集成电路中金属-半导体接触电阻的测试

来源 :西北电讯工程学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qiu829
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本文首先介绍金属-半导体接触电阻的基本概念。然后指出如何根据待测接触电阻的类型正确选用合适的微电子测试图形。最后强调说明在引用参数“接触电阻率”时应该注意的问题。 This article first introduces the basic concepts of metal-semiconductor contact resistance. Then pointed out how to correctly select the appropriate microelectronic test pattern according to the type of contact resistance to be measured. Finally, highlighting the issues that you should be aware of when referencing the parameter “Contact Resistivity”.
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