纳米晶Ti—Si—N超硬复合涂层的研究进展

来源 :粉末冶金技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tanyali528

【摘要】

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本文对纳米晶Ti-Si-N超硬涂层材料国内外研究进展进行了系统的回顾,着重分析了制备方法(等离子增强化学气相沉积, 等离子辅助化学气相沉积,直流磁控溅射和射频磁控溅射等)、

【作者】

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沈保罗王均张铁邦高见冯浩黄四九

【机构】

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四川大学材料科学与工程学院,成都工具研究所,双流四九稀土合金铸造厂

【出处】

：

粉末冶金技术

【发表日期】

：

2005年5期

【关键词】

：

纳米晶Ti—Si—N超硬复合涂层制备方法等离子增强化学气相沉积等离子辅助化学气相沉积直流磁控溅射射频磁控溅射 Ti-Si-N CVD PVD coat

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本文对纳米晶Ti-Si-N超硬涂层材料国内外研究进展进行了系统的回顾,着重分析了制备方法(等离子增强化学气相沉积, 等离子辅助化学气相沉积,直流磁控溅射和射频磁控溅射等)、工艺参数(沉积温度,进气比)和硅含量对Ti-Si-N微观结构、硬度、抗氧化性、耐腐蚀性和耐磨性的影响.在合适的工艺条件下,能获得硬度最高的纳米TiN晶体镶嵌在非晶态的Si3N4 基体上的复合涂层 (nc-TiN/a-Si3N4).该涂层有良好的性能并将得到广泛的应用.

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