【摘 要】
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<正> 引言等离子体增强化学气相沉积(PECVD或PACVD简称PCVD),作为沉积超硬膜的一种新工艺,已引起人们的极大关注。在PCVD过程中,由于电子能量(大约为1～10eV)远高于气体能量,温
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<正> 引言等离子体增强化学气相沉积(PECVD或PACVD简称PCVD),作为沉积超硬膜的一种新工艺,已引起人们的极大关注。在PCVD过程中,由于电子能量(大约为1～10eV)远高于气体能量,温度(相当于10~4～10~5K)远高于气体温度(在10~3K以下),由分子热运动产生的非弹性碰撞很少,因此主要是高能电子与气体分子的非弹性碰撞,从而可提高气体分子内能,并引起激发、分解和电离,使化合物的分解或化合所需要的能量和反应温度降低;强化2TiCl_4+4H_2+N_2→2TiN+8HCl↑反应
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