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利用三极射频-直流负偏压-等离子体增强化学气相沉积技术在45^#钢表面制备了附着力较强的Si-B-N复合薄膜；采用X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪分析了所制备的Si-B-N复合薄膜的组成和结构，通过划痕试验和球-盘摩擦磨损试验考察了薄膜与基体的附着力及摩擦学性能．结果表明：通过合理地控制工艺参数，并对试样基体施加适当的直流负偏压，可以制得含六方氮化硼(h-BN)和立方氮化硼(c-BN)混合相的Si-B-N复合薄膜；而在Si-B-N复合薄膜表面引入沉积MoS2薄膜可以改善其摩擦学性能。