超精密车床进给伺服系统的复合控制设计

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超精密车床在非球曲面以及超光滑表面的加工中具有广泛应用。将超精密车床进给系统设计成为具有电流环、速度环和位置环的三环伺服系统结构,并根据实际伺服特性,在位置环上设计了具有速度/加速度前馈补偿的半闭环复合控制策略。通过实验数据的比较,显著提高了进给伺服系统的控制精度,减少了跟踪误差。
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