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基于裂纹传播扩散法，研究了键合圆片的表面能计算方法，推导出包括圆形、矩形、三角形等形状样品的平均表面能计算公式，并应用于硅片直接键合的表面能计算。应用实例表明，上述公式能方便地计算出键合圆片的平均表面能，实现对键合质量的检测和评估，进而可以指导和优化圆片直接键合工艺。
圆片直接键合界面表面能测试研究
【摘 要】
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基于裂纹传播扩散法，研究了键合圆片的表面能计算方法，推导出包括圆形、矩形、三角形等形状样品的平均表面能计算公式，并应用于硅片直接键合的表面能计算。应用实例表明，上述公式
【机 构】
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华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室,武汉光电国家实验室
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2008年3期
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