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引言rn任何一种数字成像的核心都是图像传感器.它的基本结构包括一个能把光转换为图像的有源像素矩阵.数码相机和带相机的移动电话带动了图像传感器需求市场的快速增长,它们已成为主要IC制造商大量生产的产品之一.
用于图像传感器制造的光刻技术
【摘 要】
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引言rn任何一种数字成像的核心都是图像传感器.它的基本结构包括一个能把光转换为图像的有源像素矩阵.数码相机和带相机的移动电话带动了图像传感器需求市场的快速增长,它们
【机 构】
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ASML Netherlands B.V
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2007年1期
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