【摘 要】
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本文以光寻址电位传感器为基础,研究具有EIS结构并列型半导体体液分析传感器。重点研究了背面照射时,偏置电压、光调制频率和光功率等对传感器光电压的影响,并给出优化条件。
【机 构】
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南开大学电子科学系,天津大学精密仪器与光电子学院,南开大学电子科学系,天津大学精密仪器与光电子学院,天津大学精密仪器与光电子学院,南开大学电子科学系,南开大学电子科学系,天津大学精密仪器与光电子学院,
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本文以光寻址电位传感器为基础,研究具有EIS结构并列型半导体体液分析传感器。重点研究了背面照射时,偏置电压、光调制频率和光功率等对传感器光电压的影响,并给出优化条件。该传感器在优化测试条件下,对样品液中的pH(1～10pH范围)、pO_2(0.9～10ppm范围)和葡萄浓度(10~(-5)～10~(-2)M范围)具有灵敏响应特性。
In this paper, the optical addressable potential sensor based on the EIS structure with parallel semiconductor body fluid analysis sensor. Focus on the back of the exposure, the bias voltage, optical modulation frequency and optical power on the sensor voltage impact, and gives the optimal conditions. The sensor is sensitive to the pH (1 ~ 10pH range), pO_2 (0.9 ~ 10ppm range) and grape concentration (10 ~ (-5) ~ 10 ~ (-2) M) in the sample solution under the optimized test conditions Response characteristics.
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