【摘 要】
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据《日经微器件》2006年第8期报道,据预测MEMS圆片市场2010年将达到4亿7500万美元。MEMS基板材料主要是Si、水晶、玻璃和高分子材料等,而用得最多的是Si基板(圆片),2005年用
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据《日经微器件》2006年第8期报道,据预测MEMS圆片市场2010年将达到4亿7500万美元。MEMS基板材料主要是Si、水晶、玻璃和高分子材料等,而用得最多的是Si基板(圆片),2005年用于MEMS的Si基板约为2亿2000万美元。该市场在2002年发生了很大的变化,在这之前的主流是100mm圆片,2002年
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