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采用Ｓｏｌ－ｇｅｌ方法制备了ＧｅＯ２－ＳｉＯ２复合薄膜，并用Ｈ２／Ｎ２还原使得ＧｅＯ２转变成Ｇｅ微晶而镶嵌在ＳｉＯ２的玻璃网格中，其平均晶粒尺寸小于４ｎｍ。随着热处理时间的增加，２４０ｎｍ处吸收峰的强度随之增大，并且其吸收边产生红移，说明Ｇｅ微晶的含量晶粒尺寸都在增大。
溶胶—凝胶法制备Ge／SiO2微晶复合薄膜
【摘 要】
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采用Ｓｏｌ－ｇｅｌ方法制备了ＧｅＯ２－ＳｉＯ２复合薄膜，并用Ｈ２／Ｎ２还原使得ＧｅＯ２转变成Ｇｅ微晶而镶嵌在ＳｉＯ２的玻璃网格中，其平均晶粒尺寸小于４ｎｍ。随着热处理时间的增加，２４０ｎｍ处吸收峰的强度随之增大，并且其吸收边产生红移，说明Ｇｅ微晶的含量
【机 构】
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西安交通大学电子材料研究室
【出 处】
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材料科学与工程
【发表日期】
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1999年4期
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