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在移相式轮廓测量法 (PMP)中,提出了基于快速傅里叶变换(FFT)的相移校正算法.利用计算机仿真技术发现,在移相式轮廓测量法的固定步长出现定值偏差时,在测量结果频域的光栅二倍频处出现峰值. 据此提出定值相移误差的频域检测方法,并通过滤波使误差得到抑制.
移相式轮廓测量法相移误差的计算机模拟校正
【摘 要】
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在移相式轮廓测量法 (PMP)中,提出了基于快速傅里叶变换(FFT)的相移校正算法.利用计算机仿真技术发现,在移相式轮廓测量法的固定步长出现定值偏差时,在测量结果频域的光栅二
【机 构】
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山东大学物理与微电子学院
【出 处】
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光电子．激光
【发表日期】
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2001年8期
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