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期刊论文
晶片质量及加工工艺对SAW器件性能的影响
晶片质量及加工工艺对SAW器件性能的影响
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:PoolD
【摘 要】
:
本文对SAW器件的基片质量及基片加工工艺给器件性能产生的影响进行了实验分析;对器件制作的某些工艺与成品率之间的关系进行了分析和探讨.文中以表格和概率统计反映各种影响
【作 者】
:
孙向明
【机 构】
:
四川压电与声光技术研究所
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
1990年3期
【关键词】
:
SAW器件
晶片质量
加工工艺
滤波器
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本文对SAW器件的基片质量及基片加工工艺给器件性能产生的影响进行了实验分析;对器件制作的某些工艺与成品率之间的关系进行了分析和探讨.文中以表格和概率统计反映各种影响因素与成品率的关系,给出了一些晶片质量和器件性能的图片.
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