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利用在线参数估计和自校正控制算法设计一个自校正控制器,以解决纳米工作台因各参数变化而其精确的数学模型难以确定,因而影响定位精度的问题.Matlab仿真结果表明该算法能够克服由扰动引起的系统参数变化对系统精度的影响,其控制性能优良.
基于自校正的纳米工作台控制
【摘 要】
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利用在线参数估计和自校正控制算法设计一个自校正控制器,以解决纳米工作台因各参数变化而其精确的数学模型难以确定,因而影响定位精度的问题.Matlab仿真结果表明该算法能够
【机 构】
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上海大学,大连欧姆龙公司
【出 处】
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机械与电子
【发表日期】
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2004年1期
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