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我们运用紫外光刻及热熔成形的方法，制作 了２０ｍｍ＊２０ｍｍ的折射型微透镜阵列，单元微透镜相对口径为Ｆ／２单元透镜直径９０μｍ，中心间隔１００μｍ。
微透镜阵列的加工技术研究
【摘 要】
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我们运用紫外光刻及热熔成形的方法，制作 了２０ｍｍ＊２０ｍｍ的折射型微透镜阵列，单元微透镜相对口径为Ｆ／２单元透镜直径９０μｍ，中心间隔１００μｍ。
【机 构】
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浙江大学高技术现代光学中心
【出 处】
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浙江大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1998年3期
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