【摘 要】
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根据电化学腐蚀原理，对该工艺的可行性在理论上进行了分析论证，并通过实验加以证实。研究表明：只需一个具有某种图案的丝网掩膜，通过电化学腐蚀方式，便可完成在金属上该种图案的批
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根据电化学腐蚀原理，对该工艺的可行性在理论上进行了分析论证，并通过实验加以证实。研究表明：只需一个具有某种图案的丝网掩膜，通过电化学腐蚀方式，便可完成在金属上该种图案的批量加工。与传统的化学蚀刻工艺相比，具有加工周期短、设备装置简单、加工成本低的优点。
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