面向光学加工的可控柔体面形分析研究

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面向光学加工的可控柔体系统是一个典型多变量强耦合复杂控制系统,本文研究了可控柔体系统输入输出数据的非线性关系和耦合度,分析了各变量间相关性,并提出了相应的分析方法,为实现高精度高响应速度柔体面形控制研究奠定数据基础和分析保障。
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