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介绍了一种不锈钢表面化学气相沉积渗硅工艺。对处理前后样品在6mol/L盐酸中的腐蚀性进行了实验对比研究,并介绍了使用该工艺处理的不锈钢容器应用于盛装强腐蚀性高纯电子级三氯氧磷的优良性能。
不锈钢表面CVD渗硅防腐及应用
【摘 要】
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介绍了一种不锈钢表面化学气相沉积渗硅工艺。对处理前后样品在6mol/L盐酸中的腐蚀性进行了实验对比研究,并介绍了使用该工艺处理的不锈钢容器应用于盛装强腐蚀性高纯电子级
【机 构】
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上海正帆科技有限公司
【出 处】
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精细与专用化学品
【发表日期】
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2010年3期
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