【摘 要】
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基于模板合成法，在多孔氧化铝（PAA）模板上用磁控溅射沉积金薄膜，制备出高度有序的纳米金柱阵列结构。采用扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）对所加工的金柱阵列结构进行表征。
【机 构】
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福州大学机械工程及自动化学院,中国科学院福建物质结构研究所
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基于模板合成法，在多孔氧化铝（PAA）模板上用磁控溅射沉积金薄膜，制备出高度有序的纳米金柱阵列结构。采用扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）对所加工的金柱阵列结构进行表征。所加工的纳米结构为柱状金纳米阵列，金柱直径约为Ф60nm，金柱尖端直径约Ф20nm，高度为300-600nm，相邻金柱平均间距约为100nm。纳米金柱阵列结构与多孔氧化铝模板（PAA）貌一致，阵列分布规则，柱体大小均匀。
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